플라즈마 공정용 RF 전력

제너레이터, 매처, 센서, 필터. 하나의 RF 전달 경로.

CVS는 반도체, 태양광, 디스플레이 제조용 PECVD, 식각, 확산, 이온 소스, 스퍼터 장비에 들어가는 RF 전력 장비를 설계하고 제조합니다.

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300 kHz – 13.56 MHz제너레이터 주파수

0.9 – 5.5 kW제너레이터 출력

<2 s매처 튜닝 시간

12개월보증 기간

제품 구성

RF 전달 경로

제너레이터

Barracuda · Snapper

안정화된 RF 출력, CW 또는 펄스

센서 (옵션)

Phase-X

전압, 전류, 위상, 부하 임피던스 측정

매처

Cruiser Solo · Duo

플라즈마 부하를 50 Ω으로 변환

챔버

플라즈마 부하

전극, 페데스탈, 샤워헤드

RF 필터

히터 · 정전척 · 페이스플레이트 필터

챔버 히터와 척 전원 라인으로 RF가 들어가지 않도록 차단

제품

제품군

커넥터, 통신 프로토콜, 튜닝 범위, 외함 크기는 고객 장비에 맞춰 구성합니다.

RF 제너레이터 · 13.56 MHz

Barracuda

E급 증폭기 방식 제너레이터로 CW 및 펄스 출력이 기본입니다. 하프랙 수냉 섀시에서 최대 5.5 kW.

1.5 / 3 / 5.5 kW정격 출력

150 Hz – 50 kHz펄스 주파수

<10 msRF 온 응답 시간

≤ −45 dBc고조파

상세 사양

항목	1.5 kW	3 kW	5.5 kW
부품 번호	M-719001	M-719002	M-719003
주파수	13.56 MHz ±0.005%
전달 전력, VSWR 2:1 / 3:1	1125 / 650 W	2000 / 1200 W	3350 / 1900 W
최대 반사 전력	300 W	600 W	1000 W
설정 정확도	설정값의 ±1% 또는 정격 출력의 ±0.1% 중 큰 값
저출력 정확도 (HALO, High Accuracy Low Output)	±1%, 25 W 미만 ±0.25 W	—	±1%, 25 W 미만 ±0.25 W
펄스	듀티비 10–90% (1% 단위) · 최소 온 시간 10 µs · 상승/하강 <2 µs · 동기 / CEX 지원
AC 입력	187–229 VAC, 3상, 정격 208 VAC · 역률 0.96 · 효율 60% (대표값)
최대 출력 시 입력 전류	6.9 A/상	14 A/상	26 A/상
커넥터 (AC · RF)	Harting Han-Q 5/0 · HN 암		Harting Han-Modular 40 A · L29 (7/16) 암
통신	아날로그, RS-232, Ethernet 또는 EtherCAT 중 주문 시 선택
냉각수	7.6 L/min 이상		11.4 L/min 이상
냉각수 온도 · 압력	최대 +35 °C · 2.0–6.9 bar
크기 · 무게	133 × 216 × 485 mm, 하프랙 · 20.5 / 22 / 24 kg

RF 제너레이터 · 300–450 kHz

Snapper MF-900 / MF-1250

7탭 출력 변압기를 내장한 저주파 제너레이터로 저임피던스 플라즈마 부하에 정합합니다. 주파수는 300~450 kHz에서 조정할 수 있습니다.

900 / 1250 W정격 출력

10–125 Ω출력 임피던스

±1% 또는 ±2 W출력 안정도

2U19인치 랙

상세 사양

항목	MF-900	MF-1250
부품 번호	M-718001	M-718002
출력 범위	9–900 W	10–1250 W
출력 임피던스	10–50 Ω, 7탭	10–125 Ω, 7탭
최대 반사 전력	<250 W	<280 W
출력 전압 · 전류	최대 300 V (50 Ω) · 최대 6 A
AC 입력	180–230 VAC, 단상, 최대 7 A	180–230 VAC, 3상, 6.2 A (대표값)
커넥터	RF: N형 암 · 사용자 포트: 25핀 D-sub
크기 · 무게	88 × 434 × 660 mm · 최대 13.6 kg

자동 매칭 네트워크

Cruiser Solo 및 Cruiser Duo

Solo: 13.56 MHz 단일 주파수 매처, 1.6~10 kW. Duo: 두 개의 매처와 하나의 출력, 13.56 MHz와 400 kHz 또는 2 MHz 조합. 튜닝 범위는 챔버에 맞춰 구성. Phase-X 센서 내장 옵션.

<2 s튜닝 시간

<1 s프리셋에서

1.6 – 10 kWSolo 입력 전력

13.56 MHz ±5%주파수 대역

상세 사양

모델	부품 번호	정격	크기 · 무게 · 냉각
Solo 1.6 kW	M-715001	3000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · 팬
Solo 3 kW	M-715002	4000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · 팬
Solo 5.5 kW	M-715003	6000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 6 kg · 팬
Solo 10 kW	M-715004	10 000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 365 mm · 6.2 kg · 수냉 + 팬
Duo 13.56 MHz + 400 kHz	M-716001	3000 W + 1000 W	210 × 270 × 315 mm · 10 kg
Duo 13.56 MHz + 2 MHz	M-716002	3000 W + 5000 W	203 × 356 × 406 mm · 14 kg
통신	아날로그, RS-232, Ethernet 또는 EtherCAT 중 주문 시 선택
동작 환경	−25 ~ +55 °C, 10–90% RH

인라인 V-I 센서 · 400 kHz – 13.56 MHz

Phase-X

챔버에서 전압, 전류, 위상, 부하 임피던스를 실시간으로 측정합니다. 마이크로초 수준의 TTL 트리거 신호로 장비에 빠른 피드백을 제공하여 저개구율 식각의 엔드포인트 신호를 포함한 폐루프 제어에 사용합니다.

1–1000 V_rms전압 범위

0.1–35 A_rms전류 범위

±0.3°위상 정확도

±2%전력 정확도, 0–30°

상세 사양

항목	13.56 MHz	400 kHz
부품 번호	M-717001
전압 정확도	±0.2 V 또는 2%	±0.6 V 또는 2%
전류 범위 · 정확도	0.1–35 A · ±0.02 A 또는 2%	0.1–10 A · ±0.06 A 또는 2%
위상 정확도 (≥10 V, ≥1 A)	±0.3°	±0.4°
위상각별 전력 정확도	±2% ~ ±4% (0–80°)	±3% ~ ±5% (0–80°)
인터페이스	RS-232 · CVS VFP (가상 전면 패널) 소프트웨어 · TTL 트리거 출력
RF 커넥터	HN형 암 · 1000 V_rms, 35 A

LC 저역통과 필터 · 400 kHz 및 13.56 MHz

RF 필터

히터, 정전척, 페이스플레이트 전원 라인으로 RF 에너지가 들어가지 않도록 차단합니다. 모든 모델은 공통 모드 노이즈를 감시하고 과열 보호 기능을 갖추고 있습니다.

≥30 dB@ 13.56 MHz

≥10 dB@ 400 kHz

1 – 3채널 수

2000 VDC내전압, 1분

상세 사양

항목	1CH 히터	2CH 정전척	페이스플레이트
부품 번호	M-721001	M-721004	M-721003
히터 전원	200–230 VAC · 16 A · 3000 W	200–230 VAC · 22 A · 4500 W	200–230 VAC · 16 A · 3000 W
정전척 채널	—	2000 V, 40 mA	—
절연 저항	≥1000 MΩ
동작 주위 온도	−25 ~ +55 °C

회사 소개

CVS Precision Technologies

CVS Precision Technologies(上海世炜科技有限公司)는 상하이에서 RF 전력 변환 장비를 설계하고 제조합니다. 당사 제품은 양산 PECVD 장비에서 가동 중이며, 설치된 Advanced Energy Apex 및 PDX 장치를 대체합니다. 해외 영업: CVS Precision Technologies, Ltd. (미국 콜로라도주).

2026설립

1500 m²공장, 상하이 펑셴

40대PECVD 장비 10대에 설치

장인 · 우시서비스 거점

주문 및 서비스

서비스

12개월출하일 기준 보증

8~12주표준 납기

14일수리 기간

EN · 中文운영 매뉴얼, 외형도, 3D 모델, 시험 성적서는 요청 시 제공 (영어·중국어)

문의

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