HF-Leistung für Plasmaprozesse

Generatoren, Anpassnetzwerke, Sensoren und Filter. Ein HF-Pfad.

CVS entwickelt und fertigt HF-Leistungstechnik für PECVD-, Ätz-, Diffusions-, Ionenquellen- und Sputteranlagen in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Displayfertigung.

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300 kHz – 13,56 MHzGeneratorfrequenzen

0,9 – 5,5 kWGeneratorleistung

<2 sAbstimmzeit der Anpassung

12 MonateGarantie

So greifen die Produkte ineinander

Der HF-Leistungspfad

Generator

Barracuda · Snapper

Geregelte HF-Leistung, CW oder gepulst

Sensor (Option)

Phase-X

Misst Spannung, Strom, Phase und Lastimpedanz

Anpassnetzwerk

Cruiser Solo · Duo

Transformiert die Plasmalast auf 50 Ω

Kammer

Plasmalast

Elektrode, Substratträger, Duschkopf

HF-Filter

Filter für Heizer · E-Chuck · Faceplate

Halten HF von den Versorgungsleitungen für Heizer und Chuck fern

Produkte

Produktfamilien

Steckverbinder, Kommunikationsprotokoll, Abstimmbereich und Gehäusegröße werden an die Anlage des Kunden angepasst.

HF-Generator · 13,56 MHz

Barracuda

Klasse-E-Generator mit CW- und Pulsbetrieb als Standard. Bis 5,5 kW im wassergekühlten Halbrack-Gehäuse.

1,5 / 3 / 5,5 kWNennleistung

150 Hz – 50 kHzPulsfrequenz

<10 msHF-Einschaltzeit

≤ −45 dBcOberwellen

Vollständige Daten

Parameter	1,5 kW	3 kW	5,5 kW
Artikelnummer	M-719001	M-719002	M-719003
Frequenz	13,56 MHz ±0,005%
Abgegebene Leistung bei VSWR 2:1 / 3:1	1125 / 650 W	2000 / 1200 W	3350 / 1900 W
Max. reflektierte Leistung	300 W	600 W	1000 W
Sollwertgenauigkeit	±1 % vom Sollwert oder ±0,1 % der Nennleistung, der größere Wert gilt
Genauigkeit bei kleiner Leistung (HALO, High Accuracy Low Output)	±1 %; unter 25 W ±0,25 W	—	±1 %; unter 25 W ±0,25 W
Pulsbetrieb	Tastverhältnis 10–90 % in 1-%-Schritten · min. Einschaltzeit 10 µs · Anstieg/Abfall <2 µs · Synchronisation / CEX
Netzeingang	187–229 VAC, 3-phasig, 208 VAC nominal · Leistungsfaktor 0,96 · Wirkungsgrad typ. 60 %
Netzstrom bei Volllast	6,9 A/Phase	14 A/Phase	26 A/Phase
Steckverbinder (Netz · HF)	Harting Han-Q 5/0 · HN Buchse		Harting Han-Modular 40 A · L29 (7/16) Buchse
Kommunikation	Analog, RS-232, Ethernet oder EtherCAT, bei Bestellung wählbar
Kühlwasser	7,6 L/min min.		11,4 L/min min.
Wassertemperatur · Druck	max. +35 °C · 2,0–6,9 bar
Abmessungen · Gewicht	133 × 216 × 485 mm, Halbrack · 20,5 / 22 / 24 kg

HF-Generator · 300–450 kHz

Snapper MF-900 / MF-1250

Niederfrequenzgenerator mit eingebautem Ausgangstransformator mit 7 Anzapfungen zur Anpassung an niederohmige Plasmalasten. Frequenz einstellbar von 300 bis 450 kHz.

900 / 1250 WNennleistung

10–125 ΩAusgangsimpedanz

±1 % oder ±2 WRegelgenauigkeit

2U19-Zoll-Rack

Vollständige Daten

Parameter	MF-900	MF-1250
Artikelnummer	M-718001	M-718002
Leistungsbereich	9–900 W	10–1250 W
Ausgangsimpedanz	10–50 Ω, 7 Anzapfungen	10–125 Ω, 7 Anzapfungen
Max. reflektierte Leistung	<250 W	<280 W
Ausgangsspannung · Strom	max. 300 V (50 Ω) · max. 6 A
Netzeingang	180–230 VAC, 1-phasig, max. 7 A	180–230 VAC, 3-phasig, typ. 6,2 A
Steckverbinder	HF: N-Buchse · Anwenderport: 25-pol. D-Sub
Abmessungen · Gewicht	88 × 434 × 660 mm · max. 13,6 kg

Automatische Anpassnetzwerke

Cruiser Solo und Cruiser Duo

Solo: Einfrequenz-Anpassnetzwerke für 13,56 MHz von 1,6 bis 10 kW. Duo: zwei Anpassnetzwerke mit einem Ausgang, 13,56 MHz mit 400 kHz oder 2 MHz. Abstimmbereich auf die Kammer ausgelegt. Optional mit eingebautem Phase-X-Sensor.

<2 sAbstimmzeit

<1 sAb Preset

1,6 – 10 kWEingangsleistung Solo

13,56 MHz ±5%Frequenzband

Vollständige Daten

Modell	Artikelnummer	Nennwerte	Abmessungen · Gewicht · Kühlung
Solo 1,6 kW	M-715001	3000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5,5 kg · Lüfter
Solo 3 kW	M-715002	4000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5,5 kg · Lüfter
Solo 5,5 kW	M-715003	6000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 6 kg · Lüfter
Solo 10 kW	M-715004	10 000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 365 mm · 6,2 kg · Wasser + Lüfter
Duo 13,56 MHz + 400 kHz	M-716001	3000 W + 1000 W	210 × 270 × 315 mm · 10 kg
Duo 13,56 MHz + 2 MHz	M-716002	3000 W + 5000 W	203 × 356 × 406 mm · 14 kg
Kommunikation	Analog, RS-232, Ethernet oder EtherCAT, bei Bestellung wählbar
Umgebung	−25 bis +55 °C, 10–90 % r. F.

Inline-V-I-Sensor · 400 kHz – 13,56 MHz

Phase-X

Misst Spannung, Strom, Phase und Lastimpedanz direkt an der Kammer in Echtzeit. Ein TTL-Triggersignal im Mikrosekundenbereich liefert der Anlage schnelle Rückmeldung für die Regelung, einschließlich eines Endpunktsignals für Ätzprozesse mit geringer offener Fläche.

1–1000 V_rmsSpannungsbereich

0,1–35 A_rmsStrombereich

±0,3°Phasengenauigkeit

±2%Leistungsgenauigkeit, 0–30°

Vollständige Daten

Parameter	13,56 MHz	400 kHz
Artikelnummer	M-717001
Spannungsgenauigkeit	±0,2 V oder 2%	±0,6 V oder 2%
Strombereich · Genauigkeit	0,1–35 A · ±0,02 A oder 2%	0,1–10 A · ±0,06 A oder 2%
Phasengenauigkeit (≥10 V, ≥1 A)	±0,3°	±0,4°
Leistungsgenauigkeit nach Phasenwinkel	±2% bis ±4% (0–80°)	±3% bis ±5% (0–80°)
Schnittstelle	RS-232 · Software CVS VFP (virtuelles Bedienfeld) · TTL-Triggerausgang
HF-Steckverbinder	HN-Buchse · 1000 V_rms, 35 A

LC-Tiefpassfilter · 400 kHz und 13,56 MHz

HF-Filter

Halten HF-Energie von den Versorgungsleitungen für Heizer, elektrostatischen Chuck und Faceplate fern. Alle Modelle überwachen Gleichtaktstörungen und schützen vor Übertemperatur.

≥30 dBbei 13,56 MHz

≥10 dBbei 400 kHz

1 – 3Kanäle

2000 VDCSpannungsfestigkeit, 1 min

Vollständige Daten

Parameter	1-Kanal Heizer	2-Kanal E-Chuck	Faceplate
Artikelnummer	M-721001	M-721004	M-721003
Heizerversorgung	200–230 VAC · 16 A · 3000 W	200–230 VAC · 22 A · 4500 W	200–230 VAC · 16 A · 3000 W
E-Chuck-Kanal	—	2000 V, 40 mA	—
Isolationswiderstand	≥1000 MΩ
Betriebstemperatur	−25 bis +55 °C

Unternehmen

CVS Precision Technologies

CVS Precision Technologies (上海世炜科技有限公司) entwickelt und fertigt HF-Leistungswandler in Shanghai. Unsere Produkte laufen auf PECVD-Anlagen in der Serienfertigung und ersetzen installierte Advanced-Energy-Geräte der Typen Apex und PDX. Internationaler Vertrieb: CVS Precision Technologies, Ltd., Colorado, USA.

2026Gegründet

1500 m²Werk, Fengxian, Shanghai

40 GeräteInstalliert auf 10 PECVD-Anlagen

Jiangyin · WuxiServicestandorte

Bestellung und Service

Service

12 MonateGarantie ab Versand

8–12 WochenStandard-Lieferzeit

14 TageReparaturdauer

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