プラズマプロセス用RF電源

RF電源・整合器・センサ・フィルタ。RF伝送路を一社で。

CVSは、半導体・太陽電池・ディスプレイ製造におけるPECVD、エッチング、拡散、イオンソース、スパッタ装置向けのRF電源機器を設計・製造しています。

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300 kHz – 13.56 MHzRF電源の周波数

0.9 – 5.5 kWRF電源の出力

<2 s整合器の整合時間

12か月保証期間

製品の構成

RF伝送路

RF電源

Barracuda · Snapper

安定化RF出力、CWまたはパルス

センサ（オプション）

Phase-X

電圧・電流・位相・負荷インピーダンスを測定

整合器

Cruiser Solo · Duo

プラズマ負荷を50 Ωに変換

チャンバ

プラズマ負荷

電極、ペデスタル、シャワーヘッド

RFフィルタ

ヒーター · 静電チャック · フェースプレート用フィルタ

チャンバのヒーター・チャック電源ラインへのRF侵入を防止

製品

製品ラインアップ

コネクタ、通信プロトコル、整合範囲、筐体サイズはお客様の装置に合わせて構成します。

RF電源 · 13.56 MHz

Barracuda

E級アンプ方式のRF電源。CWおよびパルス出力を標準装備。ハーフラック水冷筐体で最大5.5 kW。

1.5 / 3 / 5.5 kW定格出力

150 Hz – 50 kHzパルス周波数

<10 msRFオン応答時間

≤ −45 dBc高調波

詳細仕様

項目	1.5 kW	3 kW	5.5 kW
品番	M-719001	M-719002	M-719003
周波数	13.56 MHz ±0.005%
供給電力、VSWR 2:1 / 3:1	1125 / 650 W	2000 / 1200 W	3350 / 1900 W
最大反射電力	300 W	600 W	1000 W
設定精度	設定値の±1%または定格出力の±0.1%のいずれか大きい方
低出力精度（HALO：High Accuracy Low Output）	±1%、25 W未満は±0.25 W	—	±1%、25 W未満は±0.25 W
パルス	デューティ比10–90%（1%刻み）· 最小オン時間10 µs · 立上り/立下り<2 µs · 同期 / CEX対応
AC入力	187–229 VAC、三相、定格208 VAC · 力率0.96 · 効率60%（代表値）
全出力時の入力電流	6.9 A/相	14 A/相	26 A/相
コネクタ（AC · RF）	Harting Han-Q 5/0 · HN メス		Harting Han-Modular 40 A · L29 (7/16) メス
通信	アナログ、RS-232、Ethernet、EtherCATから注文時に選択
冷却水	7.6 L/min 以上		11.4 L/min 以上
冷却水温度 · 圧力	最高+35 °C · 2.0–6.9 bar
寸法 · 質量	133 × 216 × 485 mm, ハーフラック · 20.5 / 22 / 24 kg

RF電源 · 300–450 kHz

Snapper MF-900 / MF-1250

7タップ出力トランスを内蔵した低周波RF電源。低インピーダンスのプラズマ負荷に整合します。周波数は300～450 kHzで調整可能。

900 / 1250 W定格出力

10–125 Ω出力インピーダンス

±1%または±2 W出力安定度

2U19インチラック

詳細仕様

項目	MF-900	MF-1250
品番	M-718001	M-718002
出力範囲	9–900 W	10–1250 W
出力インピーダンス	10–50 Ω, 7タップ	10–125 Ω, 7タップ
最大反射電力	<250 W	<280 W
出力電圧 · 電流	最大300 V（50 Ω）· 最大6 A
AC入力	180–230 VAC、単相、最大7 A	180–230 VAC、三相、6.2 A（代表値）
コネクタ	RF：N型メス · ユーザーポート：25ピンD-sub
寸法 · 質量	88 × 434 × 660 mm · 最大13.6 kg

自動整合器

Cruiser SoloとCruiser Duo

Solo：13.56 MHz単周波整合器、1.6～10 kW。Duo：2系統の整合器を1出力に統合、13.56 MHzと400 kHzまたは2 MHzの組合せ。整合範囲はチャンバに合わせて構成。Phase-Xセンサ内蔵オプションあり。

<2 s整合時間

<1 sプリセットから

1.6 – 10 kWSolo入力電力

13.56 MHz ±5%周波数帯

詳細仕様

型式	品番	定格	寸法 · 質量 · 冷却
Solo 1.6 kW	M-715001	3000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · ファン
Solo 3 kW	M-715002	4000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · ファン
Solo 5.5 kW	M-715003	6000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 6 kg · ファン
Solo 10 kW	M-715004	10 000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 365 mm · 6.2 kg · 水冷 + ファン
Duo 13.56 MHz + 400 kHz	M-716001	3000 W + 1000 W	210 × 270 × 315 mm · 10 kg
Duo 13.56 MHz + 2 MHz	M-716002	3000 W + 5000 W	203 × 356 × 406 mm · 14 kg
通信	アナログ、RS-232、Ethernet、EtherCATから注文時に選択
動作環境	−25～+55 °C、10–90% RH

インラインV-Iセンサ · 400 kHz – 13.56 MHz

Phase-X

チャンバ直前の電圧・電流・位相・負荷インピーダンスをリアルタイムで測定。マイクロ秒レベルのTTLトリガ信号で装置へ高速フィードバックし、低開口率エッチングの終点信号を含む閉ループ制御に使用できます。

1–1000 V_rms電圧範囲

0.1–35 A_rms電流範囲

±0.3°位相精度

±2%電力精度、0–30°

詳細仕様

項目	13.56 MHz	400 kHz
品番	M-717001
電圧精度	±0.2 V または 2%	±0.6 V または 2%
電流範囲 · 精度	0.1–35 A · ±0.02 A または 2%	0.1–10 A · ±0.06 A または 2%
位相精度（≥10 V、≥1 A）	±0.3°	±0.4°
位相角別の電力精度	±2% ～ ±4% (0–80°)	±3% ～ ±5% (0–80°)
インターフェース	RS-232 · CVS VFP（仮想フロントパネル）ソフトウェア · TTLトリガ出力
RFコネクタ	HN型メス · 1000 V_rms, 35 A

LCローパスフィルタ · 400 kHzおよび13.56 MHz

RFフィルタ

ヒーター、静電チャック、フェースプレートの電源ラインへのRFエネルギー侵入を防止します。全機種でコモンモードノイズを監視し、過温度保護を備えています。

≥30 dB@ 13.56 MHz

≥10 dB@ 400 kHz

1 – 3チャンネル数

2000 VDC耐電圧、1分間

詳細仕様

項目	1CHヒーター	2CH静電チャック	フェースプレート
品番	M-721001	M-721004	M-721003
ヒーター電源	200–230 VAC · 16 A · 3000 W	200–230 VAC · 22 A · 4500 W	200–230 VAC · 16 A · 3000 W
静電チャックチャンネル	—	2000 V, 40 mA	—
絶縁抵抗	≥1000 MΩ
動作周囲温度	−25～+55 °C

会社概要

CVS Precision Technologies

CVS Precision Technologies（上海世炜科技有限公司）は、上海でRF電力変換機器を設計・製造しています。当社製品は量産PECVD装置で稼働しており、既設のAdvanced Energy ApexおよびPDXの置き換えに対応します。海外営業：CVS Precision Technologies, Ltd.（米国コロラド州）。

2026設立

1500 m²工場（上海市奉賢区）

40台PECVD装置10台に設置

江陰 · 無錫サービス拠点

ご注文とサービス

サービス

12か月出荷日からの保証期間

8～12週間標準納期

14日修理期間

EN · 中文取扱説明書、外形図、3Dモデル、試験成績書はご要望に応じて提供（英語・中国語）

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電話

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工場

上海世炜科技有限公司
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